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TEMography Channel


NBD Stadium

概要

ナノビームによる回折スポットから歪み解析を行う画期的なアプリケーションNBD Stadium。開発ターゲットであったJEM-2800のみならず、JEM-2100FやJEM-ARM200Fでもご利用いただいております。


原理説明(動画)


特徴

回折パターンの自動撮影

指定した範囲を自動的に撮影します。

【撮影手順】

     
  • STEM像を取り込みます。
  •      
  • 回折パターンの撮影位置を登録します。(回折パターンは、点または格子を複数指定できます。)
  •      
  • 回折パターンの撮影を実行します。(保存ファイル名を入力後、回折パターンを自動的に撮影します。)
  • ※スキャン制御パラメータはTEM本体のパラメータを利用します。

    【撮影パターン】

         
  • 界面から一定の距離の回折パターンを撮影。
  • 【プロファイル-横】

    【プロファイル-縦】

         
  • 界面から一定の距離を中心として格子状に回折パターンを撮影。
  • 【マップ】

         
  • 不要な回折パターンをスキップして撮影。
  • 【スキップ指定】

    【撮影時間】

    X:100枚×Y:20枚(2000枚) → 約55分

    ※ドリフト補正:100枚に1回

    ※回折パターン解像度:1024×1024

    回折パターンの自動撮影

    指定した範囲を自動的に撮影します。

    【歪みマップ】

    歪み率をグラデーションで表示します。また、格子間の歪み率を実際の計測結果から補間して表示することが可能です。

    【歪みグラフ】

    歪み率をグラフで表示します。これにより歪み率の傾向を確認することができます。

    【歪みマップ方向切り替え】

    歪みマック方向を切り替えることができます。操作も簡単に行えます。

    【歪みマップ表示方法切り替え】

         
  • 歪みマップを透過表示することによってSTEM像と歪みの同時観察に切り替えることができます。
  •      
  • 回折パターンの撮影格子に切り替えることができます。
  • 【解析結果】

    歪み率をCSVファイルに保存することが可能です。EXCELRを使ってより詳しいグラフを作成することができます。

    【歪み率】

    歪み率(%) = (A - B) ÷ A × 100

    A : 回折スポット間基準距離

    B : 回折スポット間演算距離

    回折スポット点のカスタマイズ

    【回折スポットの登録】

    スポット点の位置を予め登録することによって検出するミスを低減させ、高速に検出することができます。スポット点はテンプレートとして保存できるので、同じ種類の結晶であれば新規に作成する必要はありません。

    【回折スポット点の検出方法】

         
  • 円検出
  • スポット点の輪郭から中心を検出します。

         
  • 重心検出
  • 輝度の重心を検出します。

         
  • ピーク位置検出
  • 輝度の投影像より最大輝度の位置を検出します。

    計算時間 (2,000枚)→ 約12分

    ※回折パターン解像度1024x1024

    【回折スポットの編集】

    演算にて求めたスポット点に誤りがあった場合、手動にて補正することが可能です。(スポットの指定は回折パターン上でスポットを囲むように円を指定します。)

    仕様

    対応機種:

  • 日本電子社製透過電子顕微鏡 (JEM-2800/2100F/ARM200F)

  • カタログのダウンロード

    PDF NBD STADIUM.pdf

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